JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡
▏產(chǎn)品詳情
廣受好評的JSM-7610F的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過改進(jìn)，實現(xiàn)了分辨率（15kV 0.8nm、1kV 1.0nm）的進(jìn)一步提升，以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng)，能提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。
此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進(jìn)行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴(kuò)展性。主要特點(diǎn)如下：
◇ 半浸沒式物鏡
半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強(qiáng)磁場，因而可以獲得超高分辨率。
◇ High Power Optics
High Power Optics 是獨(dú)特的電子光學(xué)系統(tǒng)，既實現(xiàn)了高倍率觀察又能進(jìn)行多種分析。
浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍，可以獲得10 倍于傳統(tǒng)肖特基場發(fā)射電子槍（FEG）的探針電流，最佳光闌角控制鏡（ALC）在探針電流增大時也能保持小束斑，兩者組合起來能提供200 nA 以上的探針電流。強(qiáng)大的High Power Optics 系統(tǒng)，從高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物鏡光闌而不需要改換。
浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍銃
浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍通過和低像差聚光鏡組合，可以有效地收集從電子槍內(nèi)發(fā)射的電子。
最佳光闌角控制鏡（ACL）
最佳光闌角控制鏡（ACL）配置在物鏡的上方，在整個探針電流范圍內(nèi)自動優(yōu)化物鏡光闌的角度。因此，即使照射樣品的探針電流很大，與傳統(tǒng)方式相比，也能獲得很小的電子束斑。
即使探針電流很大，束斑直徑也很小
長時間分析時穩(wěn)定度也很高
◇ 柔和電子束（GB:GENTLEBEAMTM）模式
GB 模式的效果
GB 模式在低電壓下提高分辨率
左圖一般模式，右圖GB模式
增強(qiáng)了的低加速電壓下的分辨率
◇ r-過濾器
◇ LABE檢測器（選配件）
利用LABE 檢測器獲取低角度背散射電子像
◇ 擴(kuò)展性
能譜儀（EDS）
波譜儀（WDS）
陰極熒光系統(tǒng)（CL）
技術(shù)參數(shù)
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二次電子像分辨率 |
0.8 nm（加速電壓 15 kV），1.0 nm（加速電壓 1 kV ） |
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倍率 |
Direct magnification: x25 to 1,000,000（120 x 90 mm） |
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加速電壓 |
0.1 ～ 30 kV |
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探針電流 |
數(shù) pA ～ 200 nA |
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電子槍 |
浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍 |
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透鏡系統(tǒng) |
聚光鏡（CL）、 最佳光闌角控制鏡（ACL）、 半浸沒式物鏡（OL） |
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樣品臺 |
全對中測角樣品臺、5軸馬達(dá)驅(qū)動 |
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電子檢測器系列 |
高位檢測器、 r‐過濾器 內(nèi)置、 低位檢測器 |
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自動功能 |
自動聚焦、自動消象散、自動亮度/襯度調(diào)節(jié) |
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圖像觀察用 |
屏幕尺寸 23英寸寬屏 |
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抽真空系統(tǒng) |
電子槍室／中間室 SIP 離子泵 |
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PRODUCT
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